当今LCD显示器的生产过程中清洗工艺的优劣是至关重要的，目前最流行的是将高压水射流清洗技术应用到玻璃基板的清洗工艺中，可通过将清洗液加压到上百bar的压力，再通过孔径为0.5～1.5mm的微孔喷出，形成高流速的微小液滴来清洗玻璃基板。这一技术提高了喷淋清洗的洗净力，缩短了清洗线的长度，节省了净化空间和DI水的使用量。之前我们介绍了《高压清洗机在玻璃基板清洗中的应用》，以下主要介绍高压水射流玻璃基板清洗技术的实际效果。

 

 

对喷射压力为100 bar，喷射距离为100 mm的状况进行试验，结果表明，从微孔喷射嘴喷出的清洗液在空气中运行时，与空气发生碰撞后进一步微细化。对其粒径的统计表明，其平均粒径为0.034 μm，在到达距离喷嘴100 mm 的基板时，速度为40～50 m/s的微细水滴所占比例最大。只要通过压力调节就可以得到所需要粒径和速度的清洗液滴，以达到所需要的清洗效果。下图为清洗时微细液滴微观照片。

 

 

实际证明，高压水射流玻璃基板清洗技术与以前的传统的清洗方式相比较具有对清洗的物件损伤较小、不会对清洗物造成二次污染和DI水用量小等优点。其中省水的优点更是显著，它的喷嘴每分钟只有小于一升的用水量，这样就能很大程度上降低清洗线的DI水用量，并由于它清洗的高效率也使得清洗线的长度很大程度节省了净化空间。这些优点将使的超高压清洗成为LCD清洗工艺中更先进更有效的清洗工艺，它将在很大程度上弥补传统清洗工艺的不足。