电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统

能源和环境问题日益成为各方关注的焦点，为了实现能源和环境的可持续发展，世界各国都将太阳能发电行业作为发展的重。多晶硅还是信息产业和新能源产业最基础的原材料，还原工艺是多晶硅生产的关键工艺和成品工艺，其工艺条件和参数控制好坏直接影响产品质量和产量。电子级多晶硅生产工艺要求很高，要在“无油、无水、无尘”的环境下运行。



目前多晶硅生产多数采用改良西门子法，用来生产半导体行业电子级多晶硅；还原炉和氢化炉是改良西门子法生产多晶硅的核心设备，其运行好坏直接影响多晶硅质量及生产成本。钟罩清洗不干净、光洁度不够，常常导致硅芯击不穿或产品质量污染，所以钟罩清洗设备对多晶硅生产非常重要。

经过多年来客户的实际应用和需求，通过总结借鉴国内外经验，德高洁对污染和洁净的概念和控制有了更全面的认识，充分发挥高压水清洗和吸除尘的技术优势，研发电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统。

德高洁电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统包括低压热水清洗动力装置、三维洗罐器、旋转和升降执行机构、清洗工作台、万级净化干燥系统、循环过滤系统、控制装置、微负压系统、清洗工作台、电气控制系统等，系统实现了钟罩的全自动清洗和烘干操作。



电子级多晶硅还原炉钟罩自动清洗系统特点：

1、多晶硅还原炉钟罩清洗系统以3D形式的网状喷射来完成炉筒内部表面的水力扫射，加之万级净化干燥系统，完全满足电子级多晶硅生产的需求。

2、自动化程度高，清洗时只需一键操作即可，操作简单方便。自动控制系统能实现对还原炉钟罩的自动清洗和烘干，清洗烘干时间、温度、清洗、漂洗等工艺参数可以根据需要自行调整设定，同时具有半自动或手动功能。

3、在整个还原炉的清洗过程中，清洗、干燥中筒内形成微负压状态，防止清洗外溢，同时将底座与筒体下法兰处的污染物等一并吹扫，通过排污管排出，从而保证了整个过程不会对洁净区造成污染。全密闭式清洗烘干系统，使污染物(废气、废水等)在受控的条件下，按设计出口排放，基本消除了对现场及操作人员的污染。

4、德高洁电子级多晶硅钟罩清洗系统性能可靠，核心部件、元件和附件原装进口。电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统的适应范围广，一套系统可以实现多种型号钟罩的清洗烘干。

多晶硅钟罩的清洗方式多种多样，有高压清洗、化学溶剂低压清洗、机械抛光等，德高洁多晶硅钟罩清洗系统覆盖了国内90%的多晶硅企业，为多晶硅行业提供了几十套还原炉清洗系统。这套电子级多晶硅还原炉钟罩清洗系统经过反复摸索求证，可根据不同的钟罩、不同车间厂房不同能源条件，提供个性化设计，节省了人力物力，大大降低劳动强度，这也对提高多晶硅品质产生重要意义，取得了一定的经济效益和社会效益。